<ruby id="rprpp"></ruby>
    <menuitem id="rprpp"><ruby id="rprpp"></ruby></menuitem>
<p id="rprpp"><del id="rprpp"></del></p>
<p id="rprpp"></p>

<pre id="rprpp"><ruby id="rprpp"><var id="rprpp"></var></ruby></pre>

    <pre id="rprpp"><del id="rprpp"><mark id="rprpp"></mark></del></pre>
    <ruby id="rprpp"></ruby>

    <pre id="rprpp"><b id="rprpp"><var id="rprpp"></var></b></pre>
    咨詢電話

    17756583348

    當前位置:首頁  >  技術文章  >  國產電鏡掃描電鏡SEM分辨率的影響因素

    國產電鏡掃描電鏡SEM分辨率的影響因素

    更新時間:2024-01-23      點擊次數:1198
      國產電鏡掃描電鏡SEM分辨率的影響因素
      掃描電鏡(SEM)的優點:
     ?、儆休^高的放大倍數,20-20萬倍之間連續可調;
     ?、谟泻艽蟮木吧?,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構;
     ?、墼嚇又苽浜唵?。

     

      影響SEM的幾大要素
      1、分辨率
      影響掃描電鏡的分辨本領的主要因素有:
      A. 入射電子束束斑直徑:為掃描電鏡分辨本領的極限。一般,熱陰極電子槍的最小束斑直徑可縮小到6nm,場發射電子槍可使束斑直徑小于3nm。
      B. 入射電子束在樣品中的擴展效應:擴散程度取決于入射束電子能量和樣品原子序數的高低。入射束能量越高,樣品原子序數越小,則電子束作用體積越大,產生信號的區域隨電子束的擴散而增大,從而降低了分辨率。
      C. 成像方式及所用的調制信號:當以二次電子為調制信號時,由于其能量低(小于50 eV),平均自由程短(10~100nm左右),只有在表層50~100nm的深度范圍內的二次電子才能逸出樣品表面,發生散射次數很有限,基本未向側向擴展,因此,二次電子像分辨率約等于束斑直徑。當以背散射電子為調制信號時,由于背散射電子能量比較高,穿透能力強,可從樣品中較深的區域逸出(約為有效作用深度的30%左右)。在此深度范圍,入射電子已有了相當寬的側向擴展,所以背散射電子像分辨率要比二次電子像低,一般在500~2000nm左右。如果以吸收電子、X射線、陰極熒光、束感生電導或電位等作為調制信號的其他操作方式,由于信號來自整個電子束散射區域,所得掃描像的分辨率都比較低,一般在l 000nm或l0000nm以上不等。
      2、放大倍數
      掃描電鏡的放大倍數可表示為M=Ac/As
      式中,Ac—熒光屏上圖像的邊長;
      As—電子束在樣品上的掃描振幅。
      一般地,Ac是固定的(通常為100 mm),則可通過改變As來改變放大倍數。目前,大多數商品掃描電鏡放大倍數為20~20,000倍,介于光學顯微鏡和透射電鏡之間,即掃描電鏡彌補了光學顯微鏡和透射電鏡放大倍數的空擋。
      3、景深
      景深是指焦點前后的一個距離范圍,該范圍內所有物點所成的圖像符合分辨率要求,可以成清晰的圖像;也即,景深是可以被看清的距離范圍。掃描電子顯微鏡的景深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大,所得掃描電子像富有立體感。電子束的景深取決于臨界分辨本領d0和電子束入射半角αc。
      其中,臨界分辨本領與放大倍數有關,因人眼的分辨本領約為0.2 mm, 放大后,要使人感覺物像清晰,必須使電子束的分辨率高于臨界分辨率d0 ,電子束的入射角可通過改變光闌尺寸和工作距離來調整,用小尺寸的光闌和大的工作距離可獲得小的入射電子角。
      4、襯度
      包括:表面形貌襯度和原子序數襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。原子序數襯度指掃描電子束入射試祥時產生的背散射電子、吸收電子、X射線,對微區內原子序數的差異相當敏感。原子序數越大,圖像越亮。二次電子受原子序數的影響較小。高分子中各組分之間的平均原子序數差別不大;所以只有—些特殊的高分子多相體系才能利用這種襯度成像。
    亚洲伊人色欲综合网,国产日韩AⅤ无码一区二区三区,影视免费综合日本,少妇视频免费网站进入
    <ruby id="rprpp"></ruby>
      <menuitem id="rprpp"><ruby id="rprpp"></ruby></menuitem>
    <p id="rprpp"><del id="rprpp"></del></p>
    <p id="rprpp"></p>

    <pre id="rprpp"><ruby id="rprpp"><var id="rprpp"></var></ruby></pre>

      <pre id="rprpp"><del id="rprpp"><mark id="rprpp"></mark></del></pre>
      <ruby id="rprpp"></ruby>

      <pre id="rprpp"><b id="rprpp"><var id="rprpp"></var></b></pre>